国内曾统计过，在无洁净级别的要求的环境下生产mos电路管芯的合格率仅10%~15%，龙岩实验室废气系统，64为储存器仅2%。目前在精密机械、半导体、宇航、原子能等工业中应用洁净室已相当普遍。 [1]
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